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真空閘閥

加熱型真空閘閥可允許漏率是多少？

問：加熱型真空閘閥可允許漏率是多少？

答：加熱型真空閘閥可允許漏率應< 1×10^-10 mbar ?/sec。

加熱型真空閘閥

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