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真空漏閥是一種在真空系統(tǒng)中用于控制氣體流動的裝置,通常用于限制氣體從真空系統(tǒng)中泄漏出去的速率,從而保持真空度。
真空系統(tǒng)中的漏閥通常是一種單向閥門,可以讓氣體從真空系統(tǒng)中流出,但不允許氣體流入。漏閥通常包括一個或多個可調節(jié)的孔或開口,允許氣體從真空系統(tǒng)中漏出,而不會讓大氣壓力進入系統(tǒng)中。漏閥的大小和數(shù)量可以根據(jù)需要進行選擇,以滿足真空系統(tǒng)的特定需求。
真空漏閥通常用于實驗室和工業(yè)應用中,例如真空熱處理、真空鍍膜、半導體生產等領域。在這些應用中,保持適當?shù)恼婵斩仁欠浅V匾?,而漏閥則是實現(xiàn)這一目標的關鍵組件之一。
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